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家电玻璃面板生产工艺流程
- 2021-10-26-

       1.家电玻璃面板液晶显现器的构造

  普通,TFT-LCD由上基板组件、下基板组件、液晶、驱动电路单元、背光灯模组和其他附件组成,其中:下基板组件主要包括下玻璃基板和TFT阵列,而上基板组件由上玻璃基板、偏振板及覆于上玻璃基板的膜构造,液晶填充于上、下基板构成的空隙内。

  在下玻璃基板的内侧面上,布满了一系列与显现器像素点对应的导电玻璃微板、TFT半导体开关器件以及衔接半导体开关器件的纵横线,它们均由光刻、刻蚀等微电子制造工艺构成,其中每一像素的TFT。

  在上玻璃基板的内侧面上,敷有一层透明的导电玻璃板,普通为氧化铟锡(简称ITO)资料制成,它作为公共电极与下基板上的众多导电微板构成一系列电场。若LCD为彩色,则在公共导电板与玻璃基板之间布满了三基色(红、绿、蓝)滤光单元和黑点,其中黑点的作用是阻止光线从像素点之间的缝隙泄露,它由不透光资料制成,由于呈矩阵状散布,故称黑点矩阵。

  2.家电玻璃面板液晶显现器的制造工艺流程

  彩色TFT-LCD制造工艺流程主要包含4个子流程:TFT加工工艺、彩色滤光器加工工艺、单元装配工艺和模块装配工艺。

  2.1TFT加工工艺

  TFT加工工艺的作用是在下玻璃基板上构成TFT和电极阵列。针对TFT和电极层状构造,通常采用五掩膜工艺。

  图形转移积工艺由淀积、光刻、刻蚀、清洗、检测等工序构成,其详细流程如下:

  开端玻璃基板检验、薄膜淀积、清洗、覆光刻胶

  曝光、显影、刻蚀、去除光刻胶、检验、完毕

  其中刻蚀办法有干刻蚀法和湿刻蚀法两种。上述各种工序的加工原理与集成电路制造工艺中运用的相应工序的加工办法原理相似,但是,由于液晶显现器中的玻璃基板面积较大,TFT加工工艺中采用的加工办法的工艺参数和设备参数有其特殊性。

  2.2滤光板加工工艺

  (a)玻璃基板(b)阻光器加工(c)滤光器加工

  (d)滤光器加工(e)滤光器加工(f)ITO淀积

  滤光板加工工艺的作用是在基板上加工出薄膜构造,其流程如下:

  开端阻光器加工、滤光器加工、维护清洗、检测、ITO淀积、检测、完毕在滤光基片上设置的一系列由不透光资料制成的并以矩阵外形散布的黑点,它们经过相应的图形转移工艺(也称为阻光器加工工艺)加工出,并布置于滤光器加工工艺的开端阶段,所述图形转移工艺依次包含如下工序:溅射淀积、清洗、光刻胶涂覆、曝光、显影、湿法刻蚀和去除光刻胶。

  (a)溅射淀积(b)清洗(c)光刻胶涂覆(d)曝光

  (e)显影(f)湿法刻蚀(g)去除光刻胶

  家电玻璃面板阻光器加工终了后,进入滤光器加工阶段,三种滤光器(红、绿、蓝)分别经过3道图形转移工艺完成加工,由于三种滤光器直接由不同颜色的光刻胶制成,该图形转移工艺与前述图形转移工艺有所不同,它不包含刻蚀和除光刻胶的工序。其详细流程为:彩色光刻胶涂覆、曝光、显影、检验。


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